У комбинацији са свеобухватним предностима традиционалних Al2O3 и BeO материјала за подлоге, керамика од алуминијум нитрида (AlN), која има високу топлотну проводљивост (теоретска топлотна проводљивост монокристала је 275 W/m▪k, теоретска топлотна проводљивост поликристала је 70~210 W/m▪k), ниску диелектричну константу, коефицијент термичког ширења упарен са монокристалним силицијумом и добра својства електричне изолације, идеалан је материјал за подлоге кола и паковање у микроелектронској индустрији. Такође је важан материјал за високотемпературне структурне керамичке компоненте због добрих механичких својстава на високим температурама, термичких својстава и хемијске стабилности.
Теоретска густина AlN је 3,26 г/цм³, тврдоћа по MOHS скали је 7-8, отпорност на собној температури је већа од 1016Ωm, а термичка експанзивност је 3,5×10⁻⁶/℃ (собна температура од 200℃). Чиста AlN керамика је безбојна и провидна, али може бити различитих боја попут сиве, сивкасто-беле или светло жуте, због нечистоћа.
Поред високе топлотне проводљивости, AlN керамика такође има следеће предности:
1. Добра електрична изолација;
2. Сличан коефицијент термичког ширења са силицијумским монокристалом, супериорнији од материјала попут Al2O3 и BeO;
3. Висока механичка чврстоћа и слична чврстоћа на савијање са Al2O3 керамиком;
4. Умерена диелектрична константа и диелектрични губици;
5. У поређењу са BeO, топлотна проводљивост AlN керамике је мање под утицајем температуре, посебно изнад 200℃;
6. Отпорност на високе температуре и отпорност на корозију;
7. Нетоксично;
8. Применити у полупроводничкој индустрији, хемијској металургијској индустрији и другим индустријским областима.
Време објаве: 14. јул 2023.