Тефлонски обложени керамички крајњи ефектор – површина која се не лепи за осетљиво руковање плочицама
St.Cera-ов керамички крајњи ефектор са тефлонским (PTFE) премазом комбинује високочврсту алуминијумску подлогу са уједначеним PTFE премазом са ниским трењем (дебљине 15–30 μm). Премаз пружа изузетно низак коефицијент трења (≤0,1), одличну хемијску отпорност и својства против лепљења, спречавајући лепљење плочице и елиминишући контаминацију задње стране. Основна керамичка подлога (99,8% Al₂O₃) нуди високу чврстоћу на савијање (361–1000 MPa), отпорност на хабање и термичку стабилност до 260°C (граница премаза). Овај крајњи ефектор је идеалан за руковање осетљивим, танким или лепљивим плочицама (нпр. након фоторезистног премаза или хемијских процеса).
Спецификације (на основу подлоге од 99,8% Al₂O₃ са PTFE премазом):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал подлоге | 99,8% алуминијума (слонова кост) |
| Материјал за премаз | ПТФЕ (тефлон) |
| Дебљина премаза | 15–30 μm |
| Коефицијент трења (обложен) | ≤0,1 |
| Чврстоћа подлоге на савијање (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Тврдоћа подлоге (Al₂O₃) | 16 ГПа |
| Густина подлоге | 3,93 г/цм³ |
| Максимална радна температура (граница премаза) | 260°C |
| Храпавост површине (пре премазивања) | Ra ≤0,4 μm |
| Диелектрична чврстоћа (подлога) | 15×10⁶ V/m |
Напомена: ПТФЕ премаз ограничава максималну температуру на 260°C; за примене на вишим температурама, размотрите непревучену керамику или друге премазе.
Примене:
- · Руковање плочицама након фоторезистног премаза (лепљиве површине)
- · Пренос танких или крхких вафла (спречава лепљење)
- · Алати за инспекцију и метрологију полупроводника
- · Аутоматизација чистих просторија где контаминација честицама мора бити сведена на минимум
Процес производње:
Керамичка подлога синтерована и прецизно брушена → огрубљивање површине (плазма нагризање или пескострујно чишћење) → ПТФЕ премаз прскањем → термичко очвршћавање на 380°C → завршна инспекција. Сваки крајњи ефектор се проверава на дебљину премаза (вртоглава струја), адхезију (тест попречног реза ASTM D3359) и коефицијент трења.
Контрола квалитета:
100% визуелни преглед на рупице или мехуриће; уједначеност дебљине премаза унутар ±5 μm; без деламинације након теста савијања под углом од 90° на купону за сведочење. Димензионална провера према толеранцији произвођача оригиналне опреме (дужина ±0,05 mm, равност ≤0,1 mm).
Предности у односу на необложене или друге премазе:
- · Нелепљива површина спречава лепљење и ломљење вафле
- · Најнижи коефицијент трења међу керамичким премазима
- · Одлична хемијска отпорност (киселине, базе, растварачи)
- · Смањује стварање честица спречавањем преноса материјала
Ограничења (напомене о одступању материјала):
ПТФЕ премаз није изведен из датих табела својстава материјала (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Својства подлоге строго прате приложени технички лист (99,8% Al₂O₃). Својства премаза су заснована на индустријским стандардним ПТФЕ спецификацијама, јер нису дати подаци о премазу. За примене које прелазе 260°C, препоручује се крајњи ефектор без премаза од керамике.*
Прилагођавање:
Доступно у дужинама 150–1500 мм, облици врхова (захват ивице, Бернули, равни), обрасци монтажних прирубница према цртежу произвођача произвођача. Делимични премаз (само контактне површине) или потпуни премаз опционо.
Затражите узорак за испитивање адхезије и трења.
