Алуминијска PVD изолациона прстен за системе физичког таложења из паре
St.Cera PVD изолациони прстен је произведен од 99,8% алуминијум оксида (Al₂O₃) високе чистоће за употребу у системима за физичко наношење паре (PVD). Прстен обезбеђује електричну изолацију између компоненти коморе, спречавајући варничење и обезбеђујући стабилан рад плазме. Кључна својства укључују високу диелектричну чврстоћу (15×10⁶ V/m), специфични отпор >10¹⁴ Ω·mm²/m и термичку стабилност до 1600°C. Наше могућности прецизне обраде постижу спољашње пречнике до 600 mm, унутрашње пречнике до 0,2 mm, равност од 0,003 mm и површинску завршну обраду Ra0.1. Нулта порозност и хемијска инертност прстена обезбеђују дугорочну поузданост у агресивним окружењима за распршивање.
Спецификације (на основу 99,8% Al₂O₃& производни капацитети St.Cera):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал | 99,8% алуминијума (слонова кост) |
| Густина | 3,93 г/цм³ |
| Флексибилна чврстоћа | 361 МПа |
| Викерсова тврдоћа | 16 ГПа |
| Диелектрична чврстоћа | 15×10⁶ V/m |
| Специфични отпор | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Максимални спољашњи пречник | 600 мм |
| Мин. унутрашњи пречник | 0,2 мм |
| Максимална дебљина | 100 мм |
| Равност | 0,003 мм |
| Паралелизам | 0,002 мм |
| Површинска завршна обрада | Ра0,1 |
| Максимална радна температура | 1600°C |
Примене:
- · Изолатори плочастих подлога циља у PVD системима
- · Изолатори за пролаз у комору
- · Заштитни прстенасти изолатори у системима за распршивање
- · Изолација високог напона у плазма коморама
Прецизност производње:
Концентричност: 0,01 мм, округлост: 0,002 мм, праволинијост: 0,005 мм, управност: 0,005 мм, верификовано помоћу ЦММ-а.
AПредности у односу на полимерне изолаторе:
- · Отпорност на 1600°C у односу на ограничење полимера од <300°C
- · Без испуштања гасова – одржава интегритет вакуума
- · Отпоран на плазмену ерозију и хемијске нападе
Прилагођавање:
Доступни су прилагођени попречни пресеци, карактеристике монтаже, степенасти профили и вишеструки дизајни концентричних прстенова.
