Керамички носећи клин за полупроводничке процесне уређаје
Керамичке потпорне иглице компаније St.Cera (познате и као иглице за подизање или потпорне иглице) користе се у коморама за полупроводничке процесе за подизање плочица или подлога током руковања, загревања или хлађења. Произведене од 99,8% алуминијумског оксида или силицијум нитрида, ове иглице нуде високу чврстоћу на притисак, термичку стабилност и хемијску отпорност. Хемисферијски или равни дизајн врха спречава гребање плочице.
Спецификације(Алуминијум оксид 99,8%):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал | 99,8% Al₂O₃ или Si₃N₄ |
| Дужина | 10 – 100 mm |
| Пречник | 1 – 10 mm |
| Облик врха | Равна, хемисферична, шиљаста |
| Притисна чврстоћа (Al₂O₃) | >2000 МПа |
| Максимална радна температура (Al₂O₃) | 1600°C |
| Површинска завршна обрада | Преклопљено (Ra ≤0,4 μm) |
| Толеранција пречника | ±0,01 мм |
Примене:
Подизни клинови у CVD/PVD коморама
Носачи за печење на плочи за грејање
Структуре за подршку сонде
Носачи за чамце од кварцне пећи
Производња:
Прецизно бесцентрично брушење спољног пречника → дијамантско брушење профила врха → ултразвучно чишћење → 100% димензионална контрола.
Контрола квалитета:
Координатна мера за дужину/пречник, оптички компаратор за радијус врха, испитивање оптерећењем за проверу чврстоће на притисак (случајни узорак по лоту). Без феромагнетне контаминације (проверено магнетом).
Предности у односу на металне или кварцне игле:
5 пута дужи век трајања од нерђајућег челика
Нема контаминације металом у процесној комори
Већа температурна способност од кварца (1600°C у односу на 1100°C)
Нелепљива површина (смањено приањање честица)
Прилагођавање:
Вишеструки профили врхова, навојна база или конусовита осовина.
Такође испоручујемо SiC пинове за екстремна плазма окружења.
