Алумина керамичка плоча великог формата за полупроводничке и индустријске уређаје
Компанија St.Cera производи керамичке плоче великог формата од 99,8% високочистог алуминијумског оксида (Al₂O₃) са максималним димензијама до 1500 мм дужине и 600 мм ширине. Наше могућности прецизног брушења постижу равност од 0,003 мм на 100 мм и паралелизам од 0,002 мм, обезбеђујући конзистентан квалитет површине за примене на великим површинама. Дебљина до 100 мм, завршна обрада површине до Ra0,1. Ове плоче служе као основе вакуумских стезних глава, грејне плоче, електрични изолациони панели и подови процесних комора у производњи полупроводника, дисплеја и фотонапонских система. Доступни су пролазни отвори, удубљења и профилисање ивица.
Спецификације (на основу 99,8% Al₂O₃& производни капацитети St.Cera):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал | 99,8% алуминијума (слонова кост) |
| Густина | 3,93 г/цм³ |
| Флексибилна чврстоћа | 361 МПа |
| Викерсова тврдоћа | 16 ГПа |
| Диелектрична чврстоћа | 15×10⁶ V/m |
| Максимална дужина | 1500 мм |
| Максимална ширина | 600 мм |
| Максимална дебљина | 100 мм |
| Равност (на 100 мм) | 0,003 мм |
| Паралелизам | 0,002 мм |
| Површинска завршна обрада | Ra0.1 (полирано/преклопљено) |
| Максимална радна температура | 1600°C |
Примене:
- · Вакуумске основне плоче за велике плочице и панеле
- · Грејне плоче за опрему за термичку обраду
- · Електричне изолационе плоче у високонапонским системима
- · Подови и облоге процесних комора
Прецизност производње:
Правост: 0,005 мм, управност: 0,005 мм, проверено ласерским интерферометром.
Предности у односу на металне плоче:
- · Без металне контаминације – критично за полупроводничке процесе
- · Без испуштања гасова – идеално за вакуумска окружења
- · Врхунска отпорност на хабање и хемикалије
Прилагођавање:
Доступни су прилагођени обрасци рупа, профили ивица, степенасте површине и метализоване површине за монтажу.
