-
ST.CERA Прилагођена полупроводничка опрема Керамичке стезне главе
Критични процес у области полупроводника захтева да се обавља у чистој просторији, посебно за оне уређаје који треба да се користе у условима високе температуре, вакуума и корозивног гаса. Керамика може да одржи високу стабилност у сложеном физичком и хемијском окружењу.
-
ST.CERA Прилагођена полупроводничка опрема Керамичка плоча
Критични процеси у полупроводничкој области морају се обављати у чистој просторији, посебно за оне уређаје који треба да се користе у условима високе температуре, вакуума и корозивног гаса. Керамика може да одржи високу стабилност у сложеном физичком и хемијском окружењу.
-
ST.CERA Прилагођени полупроводнички керамички фокусни прстен
Критични процес у области полупроводника захтева да се обавља у чистој просторији, посебно за оне уређаје који треба да се користе у условима високе температуре, вакуума и корозивног гаса. Керамика може да одржи високу стабилност у сложеном физичком и хемијском окружењу.
-
ST.CERA Прилагођена керамичка рука за утовар од 99,5% алуминијумског оксида
Керамички крајњи ефектор/рука за руковање је инсталирана на роботу за руковање плочицама или „крајњим ефекторима“ и користи се за ношење силицијумских плочица у или из касета или процесних комора.
Предности коришћења керамике су смањење деформације због високе чврстоће на савијање, отпорност на високе температуре и елиминација контаминације метала и честица. -
ST.CERA Прилагођени крајњи ефектор од алуминијумске керамике
ST.CERA нуди ESD премаз и ESD керамички материјал. Крајњи ефектор је направљен од високочистог праха алуминијума, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600℃.
-
ST.CERA Прилагођени полупроводнички керамички фокусни прстен
Направљени од алуминијумске керамике високе чистоће (изнад 99,5%), формиране хладним изостатским пресовањем и синтероване под високом температуром, затим прецизно обрађене и полиране, керамички резервни делови могу да задовоље све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације.
Са карактеристикама отпорности на високе температуре, отпорности на корозију, отпорности на хабање и изолације, керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
ST.CERA Прилагођена полупроводничка прецизна алуминијумска керамичка чаура
Направљени од алуминијумске керамике високе чистоће (изнад 99,5%), формиране хладним изостатским пресовањем и синтероване под високом температуром, затим прецизно обрађене и полиране, керамички резервни делови могу да задовоље све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације.
Са карактеристикама отпорности на високе температуре, отпорности на корозију, отпорности на хабање и изолације, керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
ST.CERA Прилагођени вакуумски крајњи ефектор од алуминијумске керамике
Ово је керамички крајњи ефектор / рука за руковање типа послужавника која се користи у условима вакуума.
Керамички крајњи ефектор / ручица за руковање је „отпорнија на топлоту“, „мање се скреће“ и „лакша“ у поређењу са металним.
Са карактеристикама отпорности на високе температуре, отпорности на корозију, отпорности на хабање и изолације, керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
ST.CERA Прилагођене керамичке цеви и керамичке шипке од 99,5% алуминијума
Са карактеристикама отпорности на високе температуре, отпорности на корозију, отпорности на хабање и изолације, керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
ST.CERA Прилагођено руковање плочицама од алуминијумске керамике
ST.CERA нуди ESD премаз и ESD керамички материјал за крајњи ефектор/манипулатор са уграђеним шупљим каналом. Специјализовани смо за технику која формира вакуумски ваздушни канал унутар једног комада материјала без употребе лепка.
Не постоји ризик од контаминације, испуштања гасова или честица. ST.CERA вакуумски крајњи ефектор / рука за руковање са посебном технологијом премаза је електрично изолована. Такође можемо да обезбедимо ESD керамички материјал који је електрично изолован без икаквог премаза.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃. -
Компоненте полупроводничке опреме од алуминијумске керамике
Спречите честице које се могу генерисати са косих или углованих ивица и задње површине док се плочице транспортују или су у контакту са крајњим ефектором / руком за руковање.
За водилице је усвојен меки материјал који не оштећује плочицу.
Разређивање је могуће захваљујући ST.CERA-овој уграђеној технологији вакуумских канала која не користи лепкове.
Могуће је направити рупе за монтажу и променити дужину и ширину основе где се крајњи ефектор / рука за руковање монтира на робота.
Монтажа сензора, шрафова и носача је доступна као опција.
Дизајниран за употребу у атмосфери.
-
Прилагођена ЦНЦ обрада керамичког крајњег ефектора St.Cera
ST.CERA нуди вакуумски керамички крајњи ефектор / руку за руковање са уграђеним шупљим каналом. Специјализовани смо за технику која формира вакуумски ваздушни канал унутар једног комада материјала без употребе лепка.
Не постоји ризик од контаминације, испуштања гасова или честица. ST.CERA вакуумски крајњи ефектор/рука за руковање са уграђеним каналом је издржљива и може се користити на високим температурама. Штавише, трошкови производње могу се смањити елиминисањем непотребне монтаже.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
