Керамичко језгро од алуминијума високе чистоће за полупроводничке уређаје
Алумина керамичко језгро компаније St.Cera је прецизно обликовано од 99,8% високочистог Al₂O₃, нудећи изузетну диелектричну чврстоћу (15×10⁶ V/m), термичку стабилност до 1600°C и отпорност на пузање под оптерећењем. Ова језгра се користе као структурне компоненте у високотемпературним процесним арматурама, основама грејача, облогама плазма комора и електричним изолаторима. Висока тврдоћа материјала (16 GPa) и ниска апсорпција воде (0%) обезбеђују дугорочну поузданост у тешким условима.
Спецификације(на основу 99,8% Al₂O₃):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал | 99,8% алуминијума (слонова кост) |
| Густина | 3,93 г/цм³ |
| Флексибилна чврстоћа | 361 МПа |
| Жилавост на лом | 3–4 MPa·m¹/² |
| Викерсова тврдоћа | 16 ГПа |
| Јангов модул | 380 GPa |
| Топлотна проводљивост | 32 W/m·k |
| Термичко ширење (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Диелектрична чврстоћа | 15×10⁶ V/m |
| Специфични отпор | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Максимална радна температура | 1600°C |
Примене:
- · Грејно језгро за епитаксијалне реакторе
- · Облога и поклопне плоче плазма коморе
- · Високонапонски електрични изолатори
- · Основа за причвршћивање робота за руковање плочицама
Производња:
Изостатско пресовање → зелена обрада → синтеровање на 1600°C → CNC брушење до коначних димензија (толеранција ±0,01 мм). Свако језгро се контролише помоћу CMM-а и ултразвучне детекције недостатака.
Осигурање квалитета:
Сертификовано по ISO 9001:2015. Тестирање пенетрантом боје за површинске пукотине; испитивање диелектричне чврстоће према ASTM D149.
AПредности у односу на друге керамичке производе:
- · Већа диелектрична чврстоћа од цирконијума (15 наспрам <10×10⁶ V/m)
- · Нижа цена од SiC за примене које нису плазма
- · Одлична хемијска отпорност на халогене (осим HF)
Прилагођени облици:
Цилиндри, квадратне шипке, плоче или сложене геометрије. Минимална величина елемента 0,5 mm.
Контактирајте нас за прилагођене дизајне језгара и подршку за термичку симулацију.
