Метална вакуумска стезна глава од порозног SiC-а за руковање искривљеним и танким плочицама
Ст.Цера керамичка вакуумска стезна глава на бази метала комбинује порозни керамички слој силицијум карбида (SiC) са прецизно обрађеном металном основом (алуминијум или нерђајући челик). Порозни SiC материјал (плаво-црн, порозност 35–40%, величина пора 20–30 μm, пропустљивост 60 ml/cm²·min) обезбеђује равномерну, нежну расподелу вакуума по целој површини плочице, елиминишући обележавање ивица и омогућавајући бесконтактну подршку за танке (≤100 μm) или искривљене плочице. SiC слој нуди ниско термичко ширење (3,5×10⁻⁶/℃), термичку стабилност до 1000°C и умерену чврстоћу на савијање (32–35 MPa). Метална база додаје структурну чврстоћу, лако монтирање преко навојних рупа и заштиту од кртог лома. Ова стезна глава је идеална за брушење задње стране, сецкање и обраду плочица на високим температурама где су равномерни вакуум и термичка компатибилност критични.
Спецификације (на основу достављених података о порозном SiC-у):
| Некретнина | Вредност |
| Керамички материјал | Порозни силицијум карбид (SiC ≥80%) |
| Боја | Плаво-црна |
| Порозност | 35–40% |
| Величина пора | 20–30 μm |
| Густина | 2,1–2,3 г/цм³ |
| Пропустљивост | 60 мл/цм²·мин |
| Флексибилна чврстоћа | 32–35 MPa |
| Коефицијент термичког ширења (25-1000°C) | 3,5×10⁻⁶/℃ |
| Максимална радна температура | 1000°C |
| Електрични отпор | 10⁻¹⁰ Ω/cm (према достављеним подацима, типично за порозни SiC) |
| Метални основни материјал | Алуминијум 6061 или нерђајући челик 304 (опционо) |
| Дебљина металне основе | 10–30 mm (прилагођено) |
Напомена: Чврстоћа на савијање је нижа него код густог SiC-а због порозности. Карактеристике металне основе нису из керамичких таблица.
Примене:
- · Брушење танких плочица са задње стране (≤100 μm)
- · Искривљено држање плочице за сецкање
- · Стезање плочица на високим температурама (до 1000°C)
- · Вакуумско причвршћивање за порозне или крхке подлоге
Производња:
Порозна SiC плоча (формирана помоћу порообразовача, синтерована) → лепљена до равности ≤10 μм → метална основа обрађена вакуумским отворима и елементима за монтажу → епоксидно лепљење или механичко стезање → испитивање цурења хелијумом.
Контрола квалитета:
- · Порозност и величина пора верификоване SEM-ом
- · Тест пропустљивости (проток ваздуха)
- · Равност мерена ласерским интерферометром
- · Брзина цурења хелијума <1×10⁻⁹ Pa·m³/s
Предности у односу на жлебљене или густе керамичке стезне главе:
- · Без обележавања плочице – равномерни вакуум без дискретних рупа
- · Самочистеће поре – смањено зачепљење
- · Рукује искривљеним плочицама (до 500 μm лука)
- · Метална база спречава крхки лом и поједностављује интеграцију
Ограничења:
- · Мања чврстоћа на савијање (32–35 MPa) – избегавајте ударно оптерећење
- · Радна температура је ограничена на 1000°C (порозни SiC), али је епоксидна веза на металној бази ограничена на ≤200°C, осим ако није механички стегнута
- · Није за вакуум високог притиска (порозна структура ограничава максималну разлику вакуума)
Прилагођавање:
- · Метална база: алуминијум (лаган), нерђајући челик (отпоран на корозију), инвар (ниско ширење)
- · Лепљење: епоксид (≤200°C) или механичка стезаљка (до 500°C)
- · Прстен за заптивање ивица за контролу зонског вакуума
Напомена: Добијена чврстоћа на савијање (32–35 MPa) је знатно нижа него код густе керамике због порозности. Пажљиво рукујте да бисте избегли крзање ивица.
