Високочисти керамички крајњи ефектор од алуминијума за роботе за руковање плочицама

Крајњи ефектор од алуминијумске керамике компаније St.Cera је прецизно обрађен од високочистог Al₂O₃ са 99,8% чистоће коришћењем напредне CNC опреме за брушење са 5 оса. Наше производне могућности укључују прецизне брусилице и CNC обрадне центре, што омогућава израду сложених геометрија са високом прецизношћу. Крајњи ефектор има танак профил (дебљине само 1,5 мм) са конусном предњом ивицом за глатко уметање плочице. Материјал пружа високу крутост (Јангов модул 380 GPa), одличну отпорност на хабање и термичку стабилност до 800°C. Свака јединица је прецизно брушена како би се постигла равност од 0,003 мм, паралелизам од 0,002 мм и завршна обрада површине Ra0.1, што обезбеђује конзистентан контакт плочице и рад без честица у FAB окружењима полупроводника. Доступан је у дужинама од 150 мм до 450 мм, са прилагођеним геометријама врхова (хватање ивице, Бернули, равно) и монтажним прирубницама које одговарају OEM роботима. Опције завршне обраде површине укључују преклапање, полирање или ESD дисипативни премаз (10⁶–10⁹ Ω/м²).

Спецификације (на основу 99,8% Al₂O₃& производни капацитети St.Cera):

Примене:

• · Пренос плочица у вакуумским и атмосферским роботима
• · FAB аутоматизациони крајњи ефектори за плочице од 200 мм/300 мм
• · Руковање танким плочицама (са ESD опцијом)

Производне могућности:
Наше прецизне брусилице и ЦНЦ обрадни центри омогућавају производњу сложених керамичких компоненти са:

• · Максимална дужина обраде: 1500 мм
• · Максимални спољашњи пречник: 600 мм
• · Минимални унутрашњи пречник: 0,2 мм
• · Максимална дебљина: 100 мм

Контрола квалитета:
Правост 0,005 мм, управност 0,005 мм, округлост 0,002 мм, паралелност 0,002 мм, концентричност 0,01 мм проверено помоћу CMM-а. Свака јединица је ултразвучно очишћена и упакована у чисту собу класе 100.