Вакуумска стезна глава на бази силицијум карбида (SiC) за окружења високих температура и плазме
Керамичка стезна глава St.Cera на бази SiC-а произведена је од силицијум карбида високе чистоће (серија S1111, SiC 99,72%, слободан Si 0,05%). Испоручује измерену чврстоћу на савијање од 449 MPa, жилавост на лом од 3,12 MPa·m¹/² и модул еластичности од 457 GPa. Типична топлотна проводљивост материјала (120–150 W/m·K) и ниско термичко ширење (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) омогућавају брзо повећање температуре и минимално савијање плочице током термичког циклуса. Стезна глава може бити конфигурисана као порозна вакуумска стезна глава (равномерни проток гаса) или стандардна стезна глава са жлебовима. Са максималном температуром употребе од 1600–1700°C (без оптерећења) и изузетном отпорношћу на ерозију плазмом, ова стезна глава је идеална за обраду плочица на високим температурама (жарење, RTP) и агресивне коморе за нагризање где се алуминијумске стезне главе деградирају.
Спецификације(на основу достављеног извештаја о испитивању SiC S1111 и типичних вредности):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал | SiC (99,72% SiC, 0,05% слободног Si) |
| Густина | 3,10–3,15 г/цм³ |
| Апсорпција воде | 0% |
| Флексибилна чврстоћа | 449 МПа |
| Жилавост на лом | 3,12 MPa·m¹/² |
| Модул еластичности | 457 ГПа |
| Викерсова тврдоћа | 25–28 GPa |
| Топлотна проводљивост | 120–150 W/m·K |
| КТР (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Максимална температура употребе (без оптерећења) | 1600–1700°C |
| Равност (преко 300 мм) | ≤5 μm |
| Површинска завршна обрада | Ra ≤0,4 μm (преклопљено) |
Примене:
● Стезање на високим температурама (жарење, RTP, епитаксијални раст)
● Стезна глава за плазма нагризање са високом отпорношћу на флуор
● Руковање танким плочицама са равномерним загревањем/хлађењем
● Порозни стезник за бесконтактну подршку плочице
Производња:
Синтеровање SiC → прецизно брушење равности и профила површине → опционо формирање порозне структуре (за вакуумску стезну главу) → преклапање → ултразвучно чишћење. Свака стезна главна главна главна је 100% контролисана на равност (ласерски интерферометар) и уједначеност вакуума (тест протока).
Контрола квалитета:
● Провера димензија CMM-а (пречник, дебљина, положаји рупа)
● Мерење равности према ASTM-у
● Тест цурења хелијума (за вакуумске стезне главе)
● Провера чврстоће на савијање по серији (видети извештај о испитивању)
Предности у односу на алуминијумске стезне главе:
● Већа топлотна проводљивост (120–150 у односу на 32 W/m·K за алуминијум) – 4× бржи пренос топлоте
● Нижи коефицијент трговања термостабилним трагом (4,0 у односу на 7,2×10⁻⁶/℃) – смањује термички напон плочице
● Супериорна отпорност на плазму – 10 пута дужи век трајања у нагризању флуором
● Виша максимална температура употребе (1600°C у односу на 800°C за алуминијум)
Прилагођавање:
● Порозна или жлебљена површина
● Пречник 100–450 mm, округли или квадратни
● Прстен за заптивање ивица или зонске вакуумске преграде
● Опција металне подлоге за монтажу високе чврстине
Сви горе наведени механички подаци потичу из приложеног извештаја о испитивању (серија S1111). Термичке вредности и вредности тврдоће су типичне за ову класу SiC. Порозне SiC стезне главе захтевају додатну обраду; молимо вас да се распитате за доступност специфичне порозности и величине пора.
