Керамички прстен од алуминијума високе чистоће за CVD / PVD процесне коморе
Керамички прстен компаније St.Cera је посебно дизајниран за употребу у CVD (хемијско таложење из паре) и PVD (физичко таложење из паре) процесним коморама. Произведен од 99,8% алуминијумског оксида (Al₂O₃) високе чистоће, овај прстен служи као облога коморе, фокусни прстен или компонента процесног комплета за ограничавање плазме и заштиту зидова коморе од ерозије. Материјал нуди одличну отпорност на плазму, високу диелектричну чврстоћу (15×10⁶ V/m) и термичку стабилност до 1600°C, обезбеђујући дуг век трајања у агресивним плазма окружењима на бази флуора. Прецизне димензионалне толеранције (±0,05 mm на унутрашњем/спољном пречнику) и равност (≤10 μm) омогућавају конзистентно позиционирање ивица плочице, побољшавајући уједначеност таложења и смањујући стварање честица.
Спецификације (на основу 99,8% Al₂O₃):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал | 99,8% алуминијума (слонова кост) |
| Густина | 3,93 г/цм³ |
| Апсорпција воде | 0% |
| Флексибилна чврстоћа | 361 МПа |
| Жилавост на лом | 3–4 MPa·m¹/² |
| Викерсова тврдоћа | 16 ГПа |
| Јангов модул | 380 GPa |
| Топлотна проводљивост | 32 W/m·k |
| Термичко ширење (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Диелектрична чврстоћа | 15×10⁶ V/m |
| Специфични отпор | >10¹⁴ Ω·cm |
| Максимална радна температура | 1600°C |
Примене:
- · Прстенови за фокусирање и ивични прстенови CVD коморе
- · PVD заштитни прстенови коморе и стезни прстенови
- · Облоге и поклопни прстенови коморе за нагризање
- · Прстенови за ограничавање плазме у системима за диелектрично нагризање
Процес производње:
Изостатско пресовање → зелена обрада → синтеровање на 1600°C → CNC брушење унутрашњег/спољног пречника → преклапање површине → ултразвучно чишћење → 100% CMM инспекција. Ултра глатка површинска обрада (Ra ≤0,4 μm) минимизира пријањање честица.
Контрола квалитета:
- · 100% провера димензија (унутрашњи пречник, спољни пречник, дебљина, равност)
- · Инспекција пенетрантима боје за површинске микропукотине
- · Тест диелектричне чврстоће према ASTM D149
- · Нема видљиве промене боје или порозности под микроскопом од 20×
Предности у односу на металне или кварцне прстенове:
- · 5–10× дужи век трајања од алуминијумских прстенова у флуорној плазми
- · Нема контаминације металом у танким филмовима
- · Већа отпорност на плазму од кварца (без ерозионих јама)
- · Одржава електричну изолацију >10¹⁴ Ω·cm чак и након дуготрајне употребе
Алтернативни материјал — силицијум нитрид (Si₃N₄):
За примене које захтевају још већу жилавост на лом (6,2 MPa·m¹/²) и бољу отпорност на термички удар (коефицијент ширења 3,2×10⁻⁶/℃), доступни су Si₃N₄ прстенови. Међутим, алуминијум је исплативији за већину CVD/PVD примена. Молимо вас да наведете жељене материјале приликом наручивања.
Прилагођавање:
- · Пролазни отвори, степенасти профили или удубљења за монтажу
- · Површина обложена Y₂O₃ за побољшану отпорност на плазму (опционо)
- · Ласерско гравирање броја дела / шифре лота
Напомена:Горе наведени подаци строго прате приложену табелу својстава Al₂O₃. За Si₃N₄ прстенове, погледајте посебан приложени Si₃N₄ технички лист.
