Вакуумска стезна глава од алуминијума од 12 инча за обраду плочица од 300 мм
Вакуумска стезна глава компаније St.Cera од 12 инча је прецизно пројектована од 99,8% алуминијум оксида (Al₂O₃) високе чистоће за руковање плочицама од 300 мм. Стезна глава има фино ожељену површину (ширина жлеба 0,5–1,0 мм, корак 2–3 мм) како би се осигурала равномерна расподела вакуума по целом пречнику од 300 мм. Равност се одржава унутар 5 μм, што омогућава фиксирање плочице без савијања током сечења, брушења задње стране и инспекције. Висока чврстоћа на савијање (361 MPa) и тврдоћа (16 GPa) материјала гарантују дугорочну димензионалну стабилност чак и при поновљеним циклусима вакуума.
Спецификације (на основу 99,8% Al₂O₃):
| Некретнина | Вредност |
| Пречник | 300 mm (12 inča) |
| Материјал | 99,8% алуминијума (слонова кост) |
| Густина | 3,93 г/цм³ |
| Флексибилна чврстоћа | 361 МПа |
| Викерсова тврдоћа | 16 ГПа |
| Равност (преко 300 мм) | ≤5 μm |
| Ширина жлеба | 0,5–1,0 мм |
| Максимална радна температура | 800°C |
| Диелектрична чврстоћа | 15×10⁶ V/m |
Примене:
Сечење и оцртавање вафли од 300 мм
Брушење задње стране плочице (танка подлога плочице)
Оптичка инспекција и сондирање
Привремене стезне главе за лепљење/одлепљивање
Производња:
CNC брушено и половано до коначне равности, жлебљено дијамантским точковима, ултразвучно очишћено и упаковано у чистој просторији класе 100. Свака стезна глава је 100% проверена на равност (ласерски интерферометар) и дубину жлеба (профилометар).
Предности:
Ниско стварање честица (≤0,05 честица/цм²)
Хемијски инертан према растварачима и киселинама
Површина отпорна на електростатични разградњу (отпорност >10¹³ Ω·cm)
Доступни су прилагођени обрасци отвора за вакуум и задњи портови.
