Порозни керамички вакуумски стезач на бази алуминијумског оксида за руковање танким плочицама
Порозни стезни држач на бази алуминијумског оксида компаније St.Cera направљен је од 99,6% Al₂O₃ високе чистоће са контролисаном отвореном порозношћу од 30–45% и уједначеном величином пора у распону од 10 до 50 μm. За разлику од жлебљених стезних држача, порозна површина обезбеђује распоређени вакуум по целој задњој страни плочице, елиминишући обележавање ивица и омогућавајући нежно држање ултратанких (≤100 μm) или искривљених плочица. Материјал нуди чврстоћу на савијање ≥250 MPa и термичку стабилност до 400°C на ваздуху.
Спецификације(на основу 99,6% Al₂O₃):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал | 99,6% алуминијума (бела) |
| Порозност | 30–45% (подесиво) |
| Средња величина пора | 10–50 μm |
| Флексибилна чврстоћа | ≥250 МПа |
| Густина | 3,88 г/цм³ |
| Равност (преко 200 мм) | ≤5 μm |
| Максимална радна температура | 400°C (ваздух) |
| Површинска завршна обрада | Преклопљено (Ra ≤0,8 μm) |
Примене:
- · Брушење задње стране танке плочице (≤50 μm)
- · Искривљено држање плочице за сецкање
- · Појединачно сакупљање матрица
- · Руковање стакленом подлогом
Производња:
Прах помешан са средствима за формирање пора → изостатско пресовање → синтеровање на 1600°C → преклапање до коначне дебљине. Свака стезна глава се тестира протоком на униформност вакуума (одступање притиска <5%) и проверава се расподела величине пора (SEM).
Предности у односу на конвенционалне стезне главе:
- · Без обележавања задње стране плочице или померања чипа
- · Држи плочице са луком до 500 μm
- · Самочистећа површина (поре се отпорне на зачепљење)
- · Јединствена подршка елиминише локални стрес
Cприлагођавање:
Округли или квадратни облици, пречника 100–450 мм. Доступан је прстен за заптивање ивица за зонску контролу вакуума.
Затражите узорак за вашу специфичну величину вафле.
