Керамички заптивни прстен од алуминијума високе чистоће за заптивање коморе високе температуре
Керамички заптивни прстен компаније St.Cera је дизајниран као алтернатива полимерним О-прстеновима у екстремним окружењима где се еластомери деградирају. Произведен од 99,8% алуминијум оксида високе чистоће (Al₂O₃), овај крути заптивни прстен се користи у статичким заптивним применама — обично упарен са меком металном или графитном заптивком — како би се обезбедило поуздано задржавање вакуума или гаса на температурама до 800°C и у агресивним плазма или хемијским окружењима. Материјал нуди нулто испуштање гасова, високу чврстоћу на притисак (основна чврстоћа на савијање 361 MPa) и хемијску инертност (отпоран на халогене, киселине и алкалије осим HF). Прецизно преклопљене заптивне површине (равност ≤5 μm, храпавост површине Ra ≤0,2 μm) обезбеђују непропусни контакт са одговарајућим металним или керамичким компонентама.
Спецификације(на основу 99,8% Al₂O₃):
| Некретнина | Вредност |
| Материјал | 99,8% алуминијума (слонова кост) |
| Густина | 3,93 г/цм³ |
| Апсорпција воде | 0% |
| Флексибилна чврстоћа | 361 МПа |
| Притисна чврстоћа (процењена) | >2000 МПа |
| Викерсова тврдоћа | 16 ГПа |
| Термичко ширење (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максимална радна температура | 800°C (ваздух), 1600°C (инертно) |
| Површинска завршна обрада (заптивна површина) | Ra ≤0,2 μm (преклопљено) |
| Равност (на 25 мм) | ≤5 μm |
| Стопа цурења хелијума | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (са одговарајућом заптивком) |
Примене:
- · Статичко заптивање полупроводничке процесне коморе (CVD, PVD, нагризање)
- · Заптивке врата пећи за високе температуре
- · Вакуумске пролазне прирубнице
- · Затварачи хемијских реакторских посуда
Процес производње:
Изостатско пресовање → синтеровање на 1600°C → прецизно двострано преклапање за постизање ултра равних, глатких заптивних површина → закошење ивица → ултразвучно чишћење. Сваки прстен је 100% тестиран на цурење на детектору цурења хелијума са стандардном металном заптивком.
Контрола квалитета:
- · Провера димензија CMM-а (унутрашњи пречник, спољни пречник, дебљина, паралелизам)
- · Површински профилометар за Ra и валовитост
- · Мерење равности помоћу оптичке равне површине
- · Тест цурења хелијума (метода повратног притиска)
Предности у односу на полимерне О-прстенове:
- · Подноси 800°Ц наспрам <300°Ц за ФФКМ
- · Нулта испуштања гасова — нема контаминације вакуумског окружења
- · Отпоран на све плазма хемије (флуор, хлор, кисеоник)
- · Без компресионог заостајања или трајне деформације
- · Неограничен век трајања у чистим условима
Ограничења (критичке примедбе):
- · Није О-прстен— то је крути керамички прстен који захтева меку заптивку (бакар, алуминијум или графит) за заптивање.
- · Не подноси динамичко кретање или велика неусклађеност прирубнице.
- · Виши почетни трошкови од полимерних О-прстенова, али дужи век трајања смањује трошкове власништва.
- · Крто — пажљиво рукујте; избегавајте ударце или напрезање савијањем.
Напомена:Горе наведени подаци строго прате приложену табелу својстава Al₂O₃. Нису дати подаци за еластомерне материјале. Овај производ је статички заптивни прстен, а не еластомерни О-прстен. Молимо вас да потврдите да ли ово испуњава ваше захтеве.
