Фокусни прстен од алуминијумске коморе високе чистоће за системе плазма нагризања и CVD-а

Прстен за фокусирање коморе компаније St.Cera је кључна компонента комплета за процес који се користи у опреми за плазма нагризање, CVD и PVD полупроводничку опрему. Произведен од 99,8% алуминијум оксида високе чистоће (Al₂O₃), прстен окружује ивицу плочице како би ограничио плазму и оптимизовао угаону расподелу јона, чиме се побољшава равномерност нагризања по површини плочице. Материјал нуди изузетну отпорност на плазму, високу диелектричну чврстоћу (15×10⁶ V/m) и термичку стабилност до 1600°C, осигуравајући дугорочну поузданост у агресивним плазма окружењима на бази флуора или хлора. Прецизно брушени унутрашњи/спољни пречник и равност (≤10 μm) омогућавају прецизно позиционирање ивица плочице, смањујући дефекте на ивицама и стварање честица.

Спецификације(на основу 99,8% Al₂O₃):

Примене:

• · Фокусни прстенови коморе за диелектрично нагризање (оксидно, нитридно нагризање)
• · Силицијумски прстенови на ивицама коморе за нагризање
• · Комплет прстенова за процес CVD коморе
• · PVD заштита коморе и стезни прстенови

Процес производње:

Прах алуминијума високе чистоће се изостатички пресује → зелено обрађује до облика скоро нето конзистенције → синтерује на 1600°C → CNC дијамантско брушење унутрашњег и спољног пречника и дебљине → преклапање ради постизања равности ≤10 μm → ултразвучно чишћење → 100% CMM инспекција. Површинска обрада Ra ≤0,4 μm минимизира пријањање честица.

Контрола квалитета:

• · 100% димензионална инспекција (унутрашњи пречник, спољни пречник, дебљина, паралелизам)
• · Тест пенетрантом боје за микропукотине (пукотине нису дозвољене)
• · Визуелни преглед под микроскопом од 20× — без крхотина, шупљина или промене боје
• · Тест диелектричне чврстоће према ASTM D149 (узорковање)

Предности у односу на силицијумске или кварцне фокусне прстенове:

• · 5–10 пута дужи век трајања у флуороугљеничној плазми
• · Нема потрошних честица ерозије које би контаминирале плочице
• · Већа диелектрична чврстоћа спречава варничење
• · Одржава равност и димензионалну тачност током хиљада РФ сати

Алтернативни материјал — цирконијум стабилизован итријумом (ZrO₂):

За примене које захтевају већу жилавост на лом (нпр. коморе са честим термичким циклусима или механичким ударима), доступни су фокусни прстенови од ZrO₂ (густина 6,03 g/cm³, чврстоћа на савијање 1000 MPa, жилавост на лом 5–8 MPa·m¹/²). Међутим, алуминијум оксид нуди бољу исплативост и представља индустријски стандард за већину примена фокусних прстенова.

Прилагођавање:

• · Степенасти профили, удубљења или монтажни отвори према цртежу купца
• · Y₂O₃ премаз за побољшану отпорност на ерозију плазмом (дебљина 20–100 μm)
• · Ласерско обележавање броја дела, датумског кода или ознака за поравнање

Напомена:Сви подаци строго прате приложену табелу својстава Al₂O₃. За спецификације ZrO₂, погледајте приложени технички лист цирконијума. Дизајн фокусних прстенова може захтевати одобрење патента — купци су одговорни за проверу права интелектуалне својине.