Порозни керамички вакуумски стезач за руковање искривљеним плочицама
Порозне керамичке стезне главе компаније St.Cera су направљене од алуминијум оксида високе чистоће са уједначеном отвореном порозношћу од 30–45% и величином пора у распону од 10 до 100 μм. За разлику од конвенционалних жлебљених стезних глава, порозна површина обезбеђује распоређени вакуум по целој задњој страни плочице, ефикасно држећи искривљене, танке или појединачне плочице без одвајања ивица или ломљења. Благи вакуум (подесив помоћу рестриктора) такође спречава остављање ознака на задњој страни.
Спецификације(на основу 99,6% Al₂O₃):
| Некретнина | Вредност |
| Порозност | 30–45% |
| Средња величина пора | 10–100 μm (изборљиво) |
| Флексибилна чврстоћа | ≥250 МПа |
| Равност (преко 300 мм) | ≤5 μm |
| Површинска завршна обрада | Преклопљено (Ra 0,8 μm) |
| Максимални ниво вакуума | -80 кПа |
| Радна температура | 400°C (ваздух), 600°C (инертно) |
| Материјал | 99,6% Ал2О3, ЗрО2 или СиЦ |
Примене:
Брушење задње стране танке плочице (≤50 μm)
Искривљено држање вафле за сецкање
Преузимање појединачних матрица са траке
Руковање стакленим панелима
Производња и квалитет:
Керамички прах помешан са органским средствима за формирање пора → пресован → синтерован → преклопљен до коначне дебљине. Свака стезна глава се тестира протоком на униформност вакуума (≤5% одступање) и проверава се расподела величине пора (SEM). Равност се мери ласерским интерферометром.
Предности у односу на жлебљене стезне главе:
Без обележавања ивица плочице или померања чипа
Држи искривљене плочице (до 500 μm дебљине)
Елиминише зачепљење вакуумског отвора
Самонивелирајућа подлога за танке подлоге
Прилагођавање:
Округли или правоугаони облици, величине до 600 мм. Можемо применити прстенове за заптивање ивица или зонске вакуумске преграде. Верзије са металном подлогом доступне су за захтеве високе чврстоће.
Затражите узорак за тест величине и савијања плочице.
