-
Керамички делови од алуминијумског оксида високо прецизне керамичке прстенове
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
ST.CERA Керамичке стезне главе за полупроводничку опрему по мери
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
Керамички крајњи ефектор од силицијум-карбида (SiC) – висока крутост за руковање плочицама на високим температурама
Керамички крајњи ефектор St.Cera SiC је произведен од силицијум карбида високе чистоће (садржај SiC 99,72%, слободни Si 0,05%) користећи материјал S1111. Нуди изузетна механичка својства: чврстоћа на савијање 449 MPa (мерено), модул еластичности 457 GPa (мерено) и тврдоћа по Викерсу 25–28 GPa (типично). Ниска густина (3,10–3,15 g/cm³, типично) пружа високу специфичну крутост, идеалну за роботе за пренос плочица великом брзином. Са топлотном проводљивошћу од 120–150 W/m·K (типично) и коефицијентом термичког ширења од 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типично), овај крајњи ефектор ефикасно расипа топлоту и одржава димензионалну стабилност током руковања на високим температурама (до 1600–1700°C, без оптерећења). Црно/сива боја и нулта апсорпција воде осигуравају компатибилност са чистим просторијама.
-
Вакуумска стезна глава на бази силицијум карбида (SiC) за окружења високих температура и плазме
Керамичка стезна глава St.Cera на бази SiC-а произведена је од силицијум карбида високе чистоће (серија S1111, SiC 99,72%, слободан Si 0,05%). Испоручује измерену чврстоћу на савијање од 449 MPa, жилавост на лом од 3,12 MPa·m¹/² и модул еластичности од 457 GPa. Типична топлотна проводљивост материјала (120–150 W/m·K) и ниско термичко ширење (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) омогућавају брзо повећање температуре и минимално савијање плочице током термичког циклуса. Стезна глава може бити конфигурисана као порозна вакуумска стезна глава (равномерни проток гаса) или стандардна стезна глава са жлебовима. Са максималном температуром употребе од 1600–1700°C (без оптерећења) и изузетном отпорношћу на ерозију плазмом, ова стезна глава је идеална за обраду плочица на високим температурама (жарење, RTP) и агресивне коморе за нагризање где се алуминијумске стезне главе деградирају.
-
Полупроводничка опрема, керамички резервни делови, керамички носачи
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
Брусни прстен од алуминијумске керамике са металном подлогом за примене лепања високе чврстоће
Ст.Цера брусни прстен од алуминијума на бази метала комбинује керамички слој отпорни на хабање од алуминијума високе чистоће (99,8% Al₂O₃) са прецизно обрађеном металном подлогом (обично алуминијум или нерђајући челик). Овај хибридни дизајн пружа изузетну отпорност на хабање и хемијску инертност керамике на површини за брушење, док метална база додаје механичку чврстоћу, лаку монтажу и отпорност на крти лом. Слој алуминијума нуди чврстоћу на савијање од 361 MPa, тврдоћу по Викерсу од 16 GPa и термичку стабилност до 800°C. Метална база је прилагођена отворима за монтажу, клиновима за лоцирање или магнетним својствима за интеграцију у машине за лепање, планетарне брусилице и CMP опрему.
-
Керамички резервни делови за опрему полупроводничких сонди
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
Прилагођена обрада керамичке плочице од Al2O3
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
ST.CERA Керамичка плоча за полупроводничку опрему по мери
Формирани хладним изостатским пресовањем и синтеровани под високом температуром, затим прецизно обрађени и полирани, керамички резервни делови могу да испуне све строге захтеве полупроводничке опреме са својим карактеристикама отпорности на хабање, отпорности на корозију, ниског термичког ширења и изолације. Керамика може да ради у многим врстама опреме за производњу полупроводника у условима високе температуре, вакуума или корозивног гаса током дужег времена.
Направљен од праха алуминијума високе чистоће, обрађен хладним изостатским пресовањем, синтеровањем на високој температури и прецизном завршном обрадом, може достићи толеранцију димензија до ±0,001 мм, површинску завршну обраду Ra 0,1, отпорност на температуру 1600 ℃.
-
Вакуумска стезна глава од алуминијума од 12 инча за обраду плочица од 300 мм
Вакуумска стезна глава компаније St.Cera од 12 инча је прецизно пројектована од 99,8% алуминијум оксида (Al₂O₃) високе чистоће за руковање плочицама од 300 мм. Стезна глава има фино ожељену површину (ширина жлеба 0,5–1,0 мм, корак 2–3 мм) како би се осигурала равномерна расподела вакуума по целом пречнику од 300 мм. Равност се одржава унутар 5 μм, што омогућава фиксирање плочице без савијања током сечења, брушења задње стране и инспекције. Висока чврстоћа на савијање (361 MPa) и тврдоћа (16 GPa) материјала гарантују дугорочну димензионалну стабилност чак и при поновљеним циклусима вакуума.
-
Алумина керамички крајњи ефектор са интегрисаним вакуумским каналима
St.Cera-ов вакуумски крајњи ефектор од алуминијума интегрише прецизно обрађене вакуумске канале и усисне отворе директно у тело од алуминијума високе чистоће 99,8%. Овај дизајн елиминише спољашње вакуумске јастучиће, омогућавајући директно преузимање плочице са равномерном силом држања. Висока чврстоћа на савијање (361 MPa) и тврдоћа (16 GPa) материјала обезбеђују дугорочну димензионалну стабилност под поновљеним циклусима вакуума. Равност преко површине јастучића одржава се унутар 10 μm, спречавајући напрезање и ломљење плочице. Вакуумски отвори се налазе на задњој монтажној прирубници ради лаке интеграције са OEM роботским рукама.
-
ESD-заштићени делови од алуминијумске керамике за руковање статички осетљивим плочицама
St.Cera-ови ESD (електростатичко пражњење) керамички делови од алуминијумске глине произведени су од 99,8% високочистог Al₂O₃ са прилагођеном површинском отпорношћу од 10⁶–10⁹ Ω/м², постигнутом патентираним поступком допирања или премазивања. Ови делови ефикасно расипају статичко наелектрисање, спречавајући електростатичко оштећење осетљивих полупроводничких плочица и уређаја. Основни материјал задржава своју високу чврстоћу на савијање (361 MPa), тврдоћу (16 GPa) и диелектричну чврстоћу (15×10⁶ V/m). ESD-безбедни керамички делови укључују крајње ефекторе, клинове за подизање, вођице и прилагођене уређаје за FAB аутоматизацију.
